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韩国SK Materials于6月17日发布消息称，已启动用于半导体生产工序的氟化氢气体的量产。
日本经济新闻中文网报道称，SK Materials生产的氟化氢据称达到了一定水平的高纯度，三星电子和SK海力士将采用。
报道称，SK Materials已在韩国东部的荣州市的工厂启动量产。该公司表示，实现量产的氟化氢气体达到被称为“five nine（5个9）”的纯度，即99.999％。虽然品质仍低于日本原材料厂商11个9的超高纯度，但已开始用于半导体晶圆清洗等部分生产工序。
2019年7月，日本政府宣布对出口韩国的半导体工业材料加强审查和管控，并将韩国排除在贸易“白色清单”以外。
这些半导体材料主要是氟聚酰亚胺、抗蚀剂和高纯度氟化氢，是智能手机、芯片等产业的重要原材料。作为韩国三大半导体企业的三星、SK海力士和LG对日本产上述材料依赖度相当高。
报道称，SK Materials在日本加强对韩出口管制之后，于2019年11月建立了相关材料的开发中心。在充分利用SK海力士设立的基金资金的同时，一直推进实现氟化氢量产化的研发。目前已使全年15吨规模的生产设备投入运行，计划到2023年将韩国国内半导体生产所需的氟化氢国产化率提高至70％。
（来源：澎湃新闻）
